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<<   作成日時 : 2008/04/06 05:56   >>

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従来から添付のcenter.pのものは32レイヤー迄の縛りがある。USERモードで動作。
gridが5M時の実行で中心誤差0.0596um(0.0000000596)

DStormの32レイヤ制限の無いCenter1DPlusはLW9での動作に○が付いてない。
実行テストしてない。

9から付いたmodelerTools.pのものはDIRECTモードで動くので明示的な選択が必要。
gridが5M時での実行で中心誤差0.0382um(0.0000000382)

誤差が違うのが気持ち悪い(・з・)

誤差は形状により変わるけど、概ねmodelerTools版はcenter.p版の1/2前後の値って感じか。

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